主要功能：
    以非接觸方式將Wafer於標準25-slot Cassette中分批次放置到客戶自製的13-slot的Cassette  中。

設備能力：
  單一批Wafer 移轉時間<15s，不含其他製程動作時間。

適用規格：
   1. 8"晶圓
   2. 8" 25-slot標準Cassette
   3. 8" 13-slot客製Cassette

優點：
    1. 減少人員誤操作，造成損失。
    2. 以非接觸方式傳送，可大幅降低particle污染。
    3. HMI帳號控制、運轉記錄查詢、配方設定等…功能，可進行運轉追溯。
 

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3D示意圖：

                        
 

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動作影片：